ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ

  • Халид Махди Таджил Аль Аридх
  • Павел Владимирович Середин
  • Вера Евгеньевна Терновая
  • Дмитрий Леонидович Голощапов
  • Анатолий Николаевич Лукин
  • Александр Викторович Федюкин
  • Иван Никитич Арсентьев
  • Александр Дмитриевич Бондарев
  • Ярослав Валерьевич Лубянский
Ключевые слова: нитрид алюминия, реактивное ионно-плазменное распыление, арсенид галлия

Аннотация

Методами структурного анализа и оптической спектроскопии были исследованы свойства наноструктурированных пленок нитрида алюминия, полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления на подложках GaAs. Показано, что управление морфологией, составом поверхности и оптическими функциональными характеристиками гетерофазных систем AlN/GaAs(100) может быть достигнуто за счет использования подложек GaAs(100) с отклонением 4° к [110].

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.
Опубликован
2016-06-09
Как цитировать
Аль Аридх, Х. М. Т., Середин, П. В., Терновая, В. Е., Голощапов, Д. Л., Лукин, А. Н., Федюкин, А. В., Арсентьев, И. Н., Бондарев, А. Д., & Лубянский, Я. В. (2016). ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕТЕРОФАЗНЫХ СТРУКТУР AlN/GaAs(100) ДИФРАКЦИОННЫМИ И СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ. Конденсированные среды и межфазные границы, 18(2), 275-283. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/134
Выпуск
Том 18 № 2 (2016)
Раздел
Статьи

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

<< < 1 2